Silicon growing 초전도자석

실리콘 웨이퍼를 만드는데 있어 핵심 소재인 잉곳을 생산하는데 필요한 Magnet입니다. 본 자석은 Horizontal Field  자장 구현이 가능하며, 이는 대구경 Ingot을 균일하게 성장시키는데 필요합니다. 또한 기존 상전도 자석에비하여 1/50 이하로 유지 및 관리 비용이 적게 듭니다. 추가로 기존 실리콘 웨이퍼 생산 설비를 보다 효과적으로 개선하여 대구경의 잉곳을 생산하여 단가 인하의 효과를 가져 올 수 있습니다.

<Specification>

  • Field direction : Horizontal
  • Generated Filed : 4000G@ center
  • Inner Bore : 1200mm by fully conduction
  • Cooling  system : 1600mm by zero boil off
  • 운전 온도 : 3.8K~4.2K
  • Magnetic shield : steel1008 with 120mm thickness
  • Superconductor : NbTi,  Nb3Sn, YBCO

<특징

  • Saddle Type Coils ; Very narrow Cryostat
  • Two Croycoolers Only
  • Ultra low Stray Field

<Option> 

  • 자장 크기 협의
  • TEST 및 Maintenance